अल्ट्रासोनिक फोटोरेसिस्ट छिड़काव क्या है?

अल्ट्रासोनिक फोटोरेसिस्ट कोटिंग उपकरण अल्ट्रासोनिक एटमाइजेशन तकनीक पर आधारित फोटोरेसिस्ट कोटिंग के लिए एक विशेष उपकरण है। इसका उपयोग मुख्य रूप से अर्धचालक, पैनल, वेफर्स, एमईएमएस और फोटोवोल्टिक्स जैसे सटीक विनिर्माण क्षेत्रों में किया जाता है। यह फोटोरेसिस्ट को नैनो/माइक्रोन {{2}आकार की अल्ट्राफाइन बूंदों में परमाणुकृत करता है, उन्हें समान रूप से वेफर्स और ग्लास सब्सट्रेट्स जैसे सब्सट्रेट्स की सतह पर छिड़कता है, पारंपरिक स्पिन कोटिंग और डिप {{4}कोटिंग प्रक्रियाओं की जगह लेता है।

 

सीधे शब्दों में कहें तो, यह फोटोलिथोग्राफी प्रक्रिया के "प्रतिरोध कोटिंग चरण" में मुख्य उपकरण है, जो उच्च परिशुद्धता, उच्च एकरूपता, कम प्रतिरोध खपत और कोई घूमने/मोटी धार दोष जैसे फायदे का दावा करता है, जो इसे उन्नत प्रक्रियाओं की फोटोरेसिस्ट कोटिंग आवश्यकताओं के लिए उपयुक्त बनाता है।

 

मुख्य तकनीकी लाभ(पारंपरिक स्पिन कोटिंग/डिप कोटिंग की तुलना में)

फोटोलिथोग्राफी में फोटोरेसिस्ट कोटिंग एक महत्वपूर्ण प्री-प्रक्रिया चरण है, और फिल्म की मोटाई की एकरूपता सीधे फोटोलिथोग्राफी की सटीकता को प्रभावित करती है। अल्ट्रासोनिक छिड़काव उपकरण के मुख्य लाभ पारंपरिक प्रक्रियाओं से कहीं अधिक हैं, जो उन्नत विनिर्माण प्रक्रियाओं में इसके व्यापक रूप से अपनाने का मुख्य कारण भी है।

 

1. अल्ट्रा-उच्च कोटिंग एकरूपता:फिल्म की मोटाई एकरूपता ±1% से कम या उसके बराबर, स्पिन कोटिंग के "मोटे किनारों और अवतल केंद्रों" को समाप्त करती है, जो 7nm/5nm जैसी उन्नत प्रक्रियाओं की फोटोलिथोग्राफी आवश्यकताओं के लिए उपयुक्त है;

 

2. बेहद कम फोटोरेसिस्ट खपत:स्पिन कोटिंग में फोटोरेसिस्ट खपत उपयोग दर केवल 10 ~ 20% है, जबकि अल्ट्रासोनिक छिड़काव 80 ~ 95% तक पहुंच सकता है, जिससे फोटोरेसिस्ट की लागत काफी कम हो जाती है (एक उच्च - लागत उपभोज्य);

 

3. विस्तृत नियंत्रणीय फिल्म मोटाई सीमा:10nm से 100μm तक पतली फिल्मों को कोटिंग करने में सक्षम, अल्ट्रा-पतली और मोटी फोटोरेसिस्ट परतों (उदाहरण के लिए, पैकेजिंग फोटोलिथोग्राफी, एमईएमएस डीप होल फोटोलिथोग्राफी) दोनों के लिए उपयुक्त;

 

4. कोई यांत्रिक तनाव क्षति नहीं:कोई केन्द्रापसारक बल या उच्च गति सब्सट्रेट रोटेशन नहीं, वेफर/सब्सट्रेट के विरूपण और दरार से बचना, नाजुक सब्सट्रेट्स के लिए उपयुक्त (उदाहरण के लिए, अल्ट्रा {{3%) पतले वेफर्स, लचीले सब्सट्रेट्स);

 

जटिल सबस्ट्रेट्स के अनुकूल:जटिल सबस्ट्रेट्स के लिए अनुकूलनीय: गैर-तलीय सबस्ट्रेट्स, गहरे छेद/अंडाकार सबस्ट्रेट्स, बड़े क्षेत्र सबस्ट्रेट्स और अनियमित आकृतियों को कोट कर सकते हैं जिन्हें स्पिन कोटिंग द्वारा संसाधित नहीं किया जा सकता है।

 

पर्यावरण के अनुकूल और प्रदूषण मुक्त:कम गोंद की खपत, बेहद कम निकास अपशिष्ट तरल मात्रा, स्पिन कोटिंग की तरह कोई गोंद धुंध बिखरना नहीं, स्वच्छ उत्पादन आवश्यकताओं को पूरा करना।